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WJ-S系列电子高纯水专用臭氧发生器
一、概述:
WJ-S系列电子高纯水专用臭氧发生器应用于微电子产品生产用高纯水、半导体、显像管等制造业用的高纯水、电脑电路板集成、电路板生产用高纯水。臭氧分解和所需羟基的形成正好在污染物所处的位置上发生。通过采用这种方法达到了工艺上的目标，晶圆在一个被注入了干燥臭氧气体的工艺腔中，同时水雾被喷到晶圆的表面。约240g/m3的高浓度臭氧被注入到工艺腔中，而同时把水以水雾或气雾的形式喷到旋转晶圆的表面。晶圆的旋转，加上适度的喷水速率，会产生一个薄层中，臭氧发生反应产生活性物质来清除污染物。
二、主要技术参数:
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型号 |
臭氧产量g/h |
电源V/Hz |
生产臭氧能效比kw.h.kg.o3 |
整机功率kw |
外形尺寸L.W.H.(mm) |
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WJ-S10 |
10 |
220/50 |
10～14 |
0.5 |
530×450×1000 |
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WJ-S15 |
15 |
0.6 |
530×450×1200 |
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WJ-S20 |
20 |
0.7 |
530×450×1200 |
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WJ-S30 |
30 |
0.9 |
640×530×1200 |
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WJ-S40 |
40 |
1.1 |
640×530×1400 |
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WJ-S50 |
50 |
1.2 |
640×530×1400 |
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WJ-S60 |
60 |
1.5 |
640×530×1400 |
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WJ-S70 |
70 |
2.0 |
640×530×1400 |
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WJ-S80 |
80 |
2.2 |
640×530×1600 |
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WJ-S90 |
90 |
2.5 |
640×530×1600 |
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WJ-S100 |
100 |
2.8 |
640×530×1600 |
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WJ-S200 |
200 |
3.6 |
840×620×1600 |
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WJ-S300 |
300 |
4.2 |
840×620×1600 |
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WJ-S400 |
400 |
5.5 |
840×620×1600 |
执行标准：中华人民共和国城镇建设行业标准CJ/T3028.1-1994《臭氧发生器》
中华人民共和国城镇建设行业标准CJ/T3028.2-1994《臭氧发生器臭氧浓度、产量、电耗的测量》
中国环境保护产品认定技术条件臭氧发生器
HJ/T 264-2006 |
