臭氧浓度在4~4×10^—6时，大肠杆菌（8404），金色葡萄球菌（ATTC6533），枯草杆菌芽孢（ATCC9372），空气混合菌，乙肝病毒等灭菌率均达到95%~100%。

用臭氧浓度为4mg/L处理污水5~20min后：COD（还原性有机物的污染程度）降低40%；BOD（还原性有机物的污染程度）降低60%~70%；致癌物质降低80%；色度降低60%。

常规情况下，当空气中臭氧浓度达到0.5×10^—6时，可杀死空气中的大部分（70%左右）的细菌和病毒；当空气中臭氧浓度达到0.6×10^—6，空气中的细菌和病毒的灭菌率在99%以上。

目前，医院手术室、换药室等特殊区域空气消毒普遍使用甲醛熏蒸协同紫外线辅射灭菌法。前者空气消毒不彻底，后者穿透力弱，且对人体有一定的危害。采用臭氧于手术室、换药室等特殊区域消毒，效果较好，臭氧空气消毒效果优于甲醛协同紫外线空气消毒，实验效果见下表：

两种方法于手术室空气消毒后细菌培养结果/（cfu/m³）

臭氧作为强氧化剂，同时严格执行操作规程，门窗要紧闭，人员勿进入，待停机30min后，即臭氧还原为氧气后方可进入。