臭氧技术在我国应用得比较慢，主要是矿泉水、纯净水等直饮水生产企业、及一些高档住宅小区分质供水优先采用臭氧发生器进行水处理消毒杀菌等。随着人们对臭氧知识了解的不断深入，臭氧发生器高效率低成本的广谱杀菌消毒功能已经开始逐渐得到广泛应用，现在我国大部分制药、食品厂家已经开始使用臭氧机对生产线及产品进行高效快速消毒杀菌保鲜处理，同时对生产车间进行严格的空气消毒。同时，医疗部门也开始将臭氧引用到人体某些疾病的预防和治疗，医院开始采用臭氧机对排污水进行消毒处理后再排放。城市污水处理系统工程也已经开始使用大型臭氧发生器进行杀菌消毒除味脱色处理，水果蔬菜残余农药的分解消毒及保鲜处理等等。
日本、德国、法国、美国、加拿大、韩国、俄罗斯等国家的臭氧应用已经产业化，臭氧应用范围已从水处理扩展到化工、食品、医疗、半导体等行业，臭氧直接用于人类治病的实验研究也有较快发展。
臭氧发生器是采集空气中的氧气通过高频高压放电产生臭氧的原理制取的。臭氧具有强烈的氧化能力，并且能自行分解，没有永久性的残余物。臭氧作为一种强氧化剂、消毒杀菌剂广泛应用于以下各个领域：
1臭氧技术在制药工业的应用
1.1在HVAC系统中应用
可根据洁净室的体积，选用适当的臭氧发生器，将外置式臭氧发生器通过接管接入HVAC系统的送、回风主管道的合适位置，其PLC控制系统可预置消毒时间等工艺参数。消毒时，关闭约90%新风进口阀门和回风对外排放阀门，使整个被消毒的洁净室空气通过净化系统风道形成循环状态。每日开机1h进行空气灭菌，可替代化学药剂熏蒸及设备表面灭菌需开机2-2.5h。
也可在洁净区内任何一个具有送回风口洁净室内单机使用，作局部灭菌。
1.2传递窗作用
物料在不同级别的洁净室之间或非洁净室与洁净室之间传递，可用专门设计的带臭氧发生器传递窗。
1.3对物料、工装模具、工作服等的灭菌
可根据灭菌对象选用臭氧常温灭菌箱或臭氧灭菌烘干箱，如用于粉针生产线中铝塑复合盖灭菌的臭氧常温灭菌箱，解决以往水洗或酒精浸泡后，再经烘箱烘干的多道工序。
1.4密闭容器管道灭菌
对输液、输料管道、过滤系统、物料贮罐、反应罐等密闭容器消毒灭菌，可选用专用臭氧发生器将自备无油气泵制取百级净化压力空气输入臭氧发生室内，生产出300μg/L以上浓度的臭氧化气体，导入需灭菌的设备或系统中。
1.5用于工艺用水处理
对工艺用水可应臭氧发生器做终端灭菌。
1.6对粉体原料与部分中药原料的灭菌
在密闭容器中通入臭氧，并利用容器中物料的翻动或搅拌作用对粉体原料与部分中药原料进行灭菌，解决了多年对粉体类或部分中药原料难以灭菌的问题。
2其它相关领域的应用
(2)传统的工艺不能满足居民对水质的要求，臭氧成为最适合二次加压的消毒剂。
在管道直饮水中中进行臭氧消毒杀菌。管道直接饮用水已成为发展趋势，许多城市和地区都相继尝试进行管道分质供水的开发和建设。
(3)饮料﹑食品行业瓶盖﹑器皿及管路的臭氧消毒杀菌。
(4)水产品﹑水果﹑净菜的臭氧杀菌﹑防霉保鲜处理及臭氧去除农药处理。
(5)宾馆﹑饭店的餐具﹑茶具及被服等的臭氧杀菌消毒。
(6)各企事业单位如银行、信用社、学校、幼儿园、宾馆﹑剧场及公交车辆等公共场所，医院、手术室，大中型家畜家禽养殖场等的臭氧空气净化消毒。
(7)对工业含酚氰有机氨﹑腈硝基染料﹑有机磷、有机氯化合物等废水臭氧高效分解处理。
(8)对SO2﹑NO2﹑H2S硫醇，硫醚等工业废水的臭氧分解净化。
(9)水产养殖场﹑浴室﹑游泳池的水净化臭氧消毒处理。
